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    膜臟也稱白壓克
    日期:2019-07-19 瀏覽:2994

    微信圖片_20190717135030.jpg

    顧名思義,膜層有臟。一般的膜臟發生在膜內或膜外。臟可以包括:灰塵點、白霧、油斑、指紋印、口水點等。(灰塵點和白霧單列)

    改善思路:檢討過程,杜絕臟污染。

    改善對策:

    ㈠ 送交洗凈或擦拭的鏡片不要有過多的不良附著物;

    ㈡ 加強鍍前鏡片的洗凈率或擦凈率;

    ㈢ 改善上傘后待鍍鏡片的擺放環境,防治污染;

    ㈣ 養成上傘作業員的良好習慣,防治鏡片污染(指紋印、口水點及其它);

    ㈦ 加快真空室護板更換周期;

    ㈧ 充氣管道清潔,防治氣體充入時污染;

    ㈨ 初始排氣防渦流(湍流),初始充氣防過沖;

    ㈩ 鏡片擺放環境和搬運過程中避免油污、水汽(磨邊、超聲波清洗)污染。

    (十一) 工作環境改造成潔凈車間

    (十二) 將鍍膜機作業面板和主機隔開,減少主機產生的有害物質污染鏡片。

    四/1、灰點臟

    現象:鏡片膜層表面或內部有一些點子(不是膜料點)有些可以擦除,有的不能擦除。并且會有點狀脫膜產生。

    產生原因:

    1、真空室臟,在開始抽真空時的空氣渦流將真空室底板、護板的臟灰帶到鏡片上,形成灰點層。(膜內,不能擦除,會有點狀脫膜)

    2、鏡圈或碟片臟,有浮點灰塵,在離子束作用下附著到了鏡片上形成灰點層。(膜內,不能擦除,會有點狀脫膜)

    3、鏡片上傘時就有灰塵點,上傘時沒有檢查挑選。(膜內,不能擦除,會有點狀脫膜)

    4、鍍制完成后的環境污染是膜外灰點的主要成因,特別是當鏡片熱的時候,更容易吸附灰塵,而且難以擦除。(膜外)

    5、真空室充氣口環境臟、開始充氣量過大、充氣過濾器臟,充氣時鏡片溫度過高也是造成鏡片膜外灰塵點不良的原因。(膜外)

    6、作業員人為帶來的灰塵污染(膜內膜外)

    7、工作環境中灰塵過多

    改善思路:杜絕灰塵源

    改善對策:

    ㈠ 工作環境改造潔凈車間,嚴格按潔凈車間規范實施。

    ㈡盡可能做好環境衛生。盡量利用潔凈工作臺。

    ㈢真空室周期打掃,保持清潔。

    四/2、膜外白霧

    現象:鍍膜完成后,表面有一些淡淡的白霧,用丙酮或混合液擦拭,會有越擦越嚴重的現象。用氧化鈰粉擦拭,可以擦掉或減輕,(又稱:可擦拭壓克)

    分析:膜外白霧的成因較為復雜,可能的成因有:

    ① 膜結構問題:外層膜的柱狀結構松散,外層膜太粗糙;

    ② 蒸發角過大,膜結構粗糙。

    ③ 溫差:鏡片出罩時內外溫差過大

    ④ 潮氣;鏡片出罩后擺放環境的潮氣

    ⑤ 真空室內POLYCOLD解凍時水汽過重

    ⑥ 蒸鍍中充氧不完全,膜結構不均勻

    ⑦ 膜與膜之間的應力

    改善思路:膜外白霧成因很多,但各有些特征,盡量對癥下藥。主要思路,一是把膜做的致密光滑些不容易吸附,二是改善環境減少吸附的對象。

    改善對策:

    ㈠ 改善膜系,外層加二氧化硅,使膜表面光滑,不易吸附。改善鏡片出罩時的環境(干燥、清潔)

    ㈡ 降低出罩時的鏡片溫度(延長在真空室的冷卻時間)減少溫差、降低應力。

    ㈢ 改善充氧(加大),改善膜結構。

    ㈣ 適當降低蒸發速率,改善柱狀結構

    ㈤ 離子輔助鍍膜,改善膜結構

    ㈥ 加上polycold解凍時的小充氣閥(其功能是及時帶走水汽)

    ㈦ 從蒸發源和夾具上想辦法改善蒸發角。

    ㈧ 改善基片表面粗糙度。

    ㈨ 注意polycold解凍時的真空度。

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