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膜臟也稱白壓克
日期:2019-07-19 瀏覽:2821

微信圖片_20190717135030.jpg

顧名思義,膜層有臟。一般的膜臟發生在膜內或膜外。臟可以包括:灰塵點、白霧、油斑、指紋印、口水點等。(灰塵點和白霧單列)

改善思路:檢討過程,杜絕臟污染。

改善對策:

㈠ 送交洗凈或擦拭的鏡片不要有過多的不良附著物;

㈡ 加強鍍前鏡片的洗凈率或擦凈率;

㈢ 改善上傘后待鍍鏡片的擺放環境,防治污染;

㈣ 養成上傘作業員的良好習慣,防治鏡片污染(指紋印、口水點及其它);

㈦ 加快真空室護板更換周期;

㈧ 充氣管道清潔,防治氣體充入時污染;

㈨ 初始排氣防渦流(湍流),初始充氣防過沖;

㈩ 鏡片擺放環境和搬運過程中避免油污、水汽(磨邊、超聲波清洗)污染。

(十一) 工作環境改造成潔凈車間

(十二) 將鍍膜機作業面板和主機隔開,減少主機產生的有害物質污染鏡片。

四/1、灰點臟

現象:鏡片膜層表面或內部有一些點子(不是膜料點)有些可以擦除,有的不能擦除。并且會有點狀脫膜產生。

產生原因:

1、真空室臟,在開始抽真空時的空氣渦流將真空室底板、護板的臟灰帶到鏡片上,形成灰點層。(膜內,不能擦除,會有點狀脫膜)

2、鏡圈或碟片臟,有浮點灰塵,在離子束作用下附著到了鏡片上形成灰點層。(膜內,不能擦除,會有點狀脫膜)

3、鏡片上傘時就有灰塵點,上傘時沒有檢查挑選。(膜內,不能擦除,會有點狀脫膜)

4、鍍制完成后的環境污染是膜外灰點的主要成因,特別是當鏡片熱的時候,更容易吸附灰塵,而且難以擦除。(膜外)

5、真空室充氣口環境臟、開始充氣量過大、充氣過濾器臟,充氣時鏡片溫度過高也是造成鏡片膜外灰塵點不良的原因。(膜外)

6、作業員人為帶來的灰塵污染(膜內膜外)

7、工作環境中灰塵過多

改善思路:杜絕灰塵源

改善對策:

㈠ 工作環境改造潔凈車間,嚴格按潔凈車間規范實施。

㈡盡可能做好環境衛生。盡量利用潔凈工作臺。

㈢真空室周期打掃,保持清潔。

四/2、膜外白霧

現象:鍍膜完成后,表面有一些淡淡的白霧,用丙酮或混合液擦拭,會有越擦越嚴重的現象。用氧化鈰粉擦拭,可以擦掉或減輕,(又稱:可擦拭壓克)

分析:膜外白霧的成因較為復雜,可能的成因有:

① 膜結構問題:外層膜的柱狀結構松散,外層膜太粗糙;

② 蒸發角過大,膜結構粗糙。

③ 溫差:鏡片出罩時內外溫差過大

④ 潮氣;鏡片出罩后擺放環境的潮氣

⑤ 真空室內POLYCOLD解凍時水汽過重

⑥ 蒸鍍中充氧不完全,膜結構不均勻

⑦ 膜與膜之間的應力

改善思路:膜外白霧成因很多,但各有些特征,盡量對癥下藥。主要思路,一是把膜做的致密光滑些不容易吸附,二是改善環境減少吸附的對象。

改善對策:

㈠ 改善膜系,外層加二氧化硅,使膜表面光滑,不易吸附。改善鏡片出罩時的環境(干燥、清潔)

㈡ 降低出罩時的鏡片溫度(延長在真空室的冷卻時間)減少溫差、降低應力。

㈢ 改善充氧(加大),改善膜結構。

㈣ 適當降低蒸發速率,改善柱狀結構

㈤ 離子輔助鍍膜,改善膜結構

㈥ 加上polycold解凍時的小充氣閥(其功能是及時帶走水汽)

㈦ 從蒸發源和夾具上想辦法改善蒸發角。

㈧ 改善基片表面粗糙度。

㈨ 注意polycold解凍時的真空度。

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