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鍍膜料點
日期:2019-07-19 瀏覽:1410

微信圖片_20190717135023.jpg

膜料點不良也是鍍膜產品的一個常見問題,在日企、臺企把膜料點稱為“斑孔”

顧名思義,膜料點就是蒸鍍中,大顆粒膜料點隨著膜料蒸汽分子一起蒸鍍到了基片的表面,在基片表面形成點狀的突起,有時是個別點,嚴重時是成片的細點,大顆粒點甚至可以打傷基片表面。

各種膜料的蒸發特性是不一樣的,特別是熔點溫度和蒸發溫度有很大差異

熔點溫度大于蒸發溫度的材料,由固態直接氣化蒸發,是升華材料;

熔點溫度小于蒸發溫度的材料,由固態先化成液態爾后在轉換成氣態蒸發,是非升華材料;

熔點溫度與蒸發溫度相當的材料,由固態到氣態蒸發,邊融化邊蒸發。是半升華材料。

其中非升華材料最容易產生膜料點,因為液態的膜料繼續加熱會沸騰,沸騰中膜料中的氣泡溢出,飛濺膜料點的可能性加大。有時在材料預熔時就有很大的飛濺。

膜料受潮,預熔或蒸鍍時水汽逸出,也會造成飛濺產生。

膜料不純、膜料參雜,即膜料中有了熔點溫度、蒸發溫度不一致的材料,這也是膜料點產生的原因。

改善思路:選用好的膜料、充分預溶、控制速率。

改善對策:

㈠ 選擇雜質少的膜料

㈡ 對易飛濺的膜料選擇顆粒合適的膜料

㈢ 膜料在鍍前用網篩篩一下

㈣ 精心預熔,MgF2務必熔透一次蒸鍍所需膜料,而Ta2O5 和TiO2必須徹底熔透。

㈤ 用一把電子槍鍍制幾種膜料時,防治坩堝轉動中膜料參雜及擋板掉下 膜料渣造成膜料污染。一旦發現坩堝膜料有污染,應立即更換。

㈥ 盡最大可能使蒸發舟、坩堝干凈。(勤打掃)。

㈦ 選擇合適的蒸發速率及速率曲線的平滑。特別是非升華材料,蒸發速率不宜高。

㈧ 膜料去潮,將待用膜料用培養皿盛放在真空室干燥

注意:有時膜層內有一些細小的點子,有可能不是膜料點,而是灰塵點,處理的方法與膜料點不良是不同的,應嚴格區分,分別處理。

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